電子行(xing)業廢氣治理方案(an)
電(dian)子行(xing)(xing)業(ye)(ye)的(de)廢(fei)氣治理一(yi)直一(yi)大(da)難題，電(dian)子行(xing)(xing)業(ye)(ye)產生(sheng)的(de)廢(fei)氣種類(lei)多(duo)，治理難度大(da)，排放(fang)的(de)廢(fei)氣具(ju)有風量(liang)大(da)(通常大于11000m3/h)、VOCs濃度低(通常小于25ppm v)的特點(dian)。排(pai)放VOCs廢(fei)氣(qi)(qi)中還含有(you)酸性氣(qi)(qi)體、堿性氣(qi)(qi)體和(he)一(yi)(yi)些有(you)毒氣(qi)(qi)體。這些問題(ti)困(kun)擾著很多(duo)企(qi)業。奧(ao)維環保跟大家(jia)一(yi)(yi)起分析一(yi)(yi)下(xia)改行業的廢(fei)氣(qi)(qi)特點及治理措施。
電子(zi)行業中的VOCs種類(lei)常見的就達30多種，主要來自半導體器(qi)件(jian)(jian)、電(dian)子元器(qi)件(jian)(jian)、電(dian)子組件(jian)(jian)、平板顯示器(qi)、整機機殼的(de)表面涂層(ceng)工藝使用溶劑型涂料、清洗工藝(包括芯征清洗(xi)、玻璃基板清洗(xi)、電路板清洗(xi)、電子組(zu)件清洗(xi)等)使用有機(ji)脫(tuo)脂劑(ji)(ji)、脫(tuo)水劑(ji)(ji)，感光成像工(gong)藝中的(de)光刻膠稀釋劑(ji)(ji)、顯影(ying)劑(ji)(ji)、脫(tuo)膠劑(ji)(ji)、液態(tai)阻(zu)焊膜劑(ji)(ji)、去膜劑(ji)(ji)等使用有機(ji)溶(rong)劑(ji)(ji)，去光刻膠類化合物如DMSO、MEA、NMP、DMAC、DGA則屬于高沸點的硫類和胺類之有機溶劑。
電子行(xing)業廢氣(qi)危害性：
電子(zi)行業廢(fei)氣(qi)中含有(you)大(da)量的有(you)害物(wu)質，如果不對(dui)這些廢(fei)氣(qi)處理的話，當含有(you)害物(wu)質漂(piao)浮(fu)在(zai)空(kong)氣(qi)，不但對(dui)周邊的環(huan)境(jing)造成污染還會(hui)危(wei)及人類的身體健康，特別是在(zai)電子(zi)廠上班的員工(gong)，如果長期呼(hu)吸(xi)這類氣(qi)體，會(hui)對(dui)員工(gong)肺部(bu)有(you)很大(da)影響(xiang)，造成各種(zhong)疾病。
電子行業廢氣治理方(fang)法：
針對電(dian)子行業VOCs排放特(te)點采用(yong)相應的治(zhi)理(li)技術，主(zhu)要方(fang)法(fa)還是吸附法(fa)、焚燒法(fa)。對于(yu)半導(dao)體(ti)、TFT—LCD和LED、PCB等企業，有機(ji)廢氣一(yi)般還含有酸性氣體(ti)、堿性氣體(ti)和一(yi)些有毒氣體(ti)，治理(li)技術一(yi)般采(cai)用(yong)多(duo)級(ji)廢氣治理(li)方(fang)式，一(yi)般采(cai)用(yong)“噴淋塔淋洗+沸石濃(nong)縮轉輪+催化燃燒(shao)”治理方案，對電子終(zhong)端產品企(qi)業一般采用“漆霧過濾柜+活性炭吸附”治(zhi)理方案。
沸石濃縮(suo)轉輪+催化(hua)燃燒(shao)是(shi)使(shi)廢(fei)氣經過(guo)預處理后,進(jin)入轉輪進(jin)行吸附凈化,達標(biao)排(pai)放(fang)。當沸石轉(zhuan)輪滿足脫(tuo)附條件時,系(xi)統進行介質再生。與CTO相(xiang)配合,完(wan)成(cheng)脫附和燃燒氧化,分解VOCs分子，成生(sheng)二(er)氧化(hua)碳和水。該方案廢(fei)氣(qi)凈化(hua)率可達90%以上，且無二次污染。但是投(tou)資較(jiao)高，有很多的企業無法(fa)接受動(dong)輒上百萬(wan)的廢氣處理投(tou)資。
活性炭吸附(fu)裝置(zhi)通過利用(yong)(yong)高性能活性炭吸附(fu)劑固體(ti)本身的表面作用(yong)(yong)力,將有機廢氣(qi)分子之(zhi)吸(xi)(xi)附質吸(xi)(xi)引(yin)附著(zhu)再吸(xi)(xi)附劑表(biao)面,能對苯、醇、酮、酯、汽油類(lei)等有機溶劑(ji)的(de)廢氣吸附, 經過(guo)活(huo)性(xing)碳吸附(fu)后，符合排放標準的(de)(de)凈(jing)化(hua)氣(qi)(qi)體經風機排放。適用(yong)于(yu)低濃度(du)大(da)風量或(huo)高濃度(du)間歇排放廢氣(qi)(qi)的(de)(de)作業環境。廣泛(fan)應用(yong)于(yu)電子(zi)元件(jian)行業生(sheng)產領域(yu)的(de)(de)廢氣(qi)(qi)惡臭氣(qi)(qi)體凈(jing)化(hua)。
